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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜

JP2003013358 2003-1-22 发明申请

2004-8-12

要解决的问题 : 以防止图像显示的再现性的降低通过充电电压的增加和减少一晶片的通过电子束的一显示图像的放大率。溶液 : 当一检查位置的一个部分在低功率被检查，在高的功率，一种电子束扫描用于所述高功率检查区域和其用于所述低功率检查被制成实际上相等。此外，一电路是提供用于只选择一个位置处的二次带电粒子的信号，其中的一个高的功率需要检查从所述二次带电粒子的信号由一检测器检测。