| 干涉共焦显微镜包括一个pihnole阵列光束分束器 |
| WOUS04002165 2004-1-27 发明申请 |
| 2004-8-12 |
| 一种用于制造一个对象的干涉测量共焦干涉系统，该系统包括一个小孔的阵列定位到接收一个源光束和，用于每个所述阵列中的针孔的针孔，分离所述源光束分成一个相应的该阵列的针孔的一个侧上的参考光束和一个对应的所述的其它侧上的测量光束所述阵列的针孔; 第第一成像系统设置到图像上的所述阵列的针孔到一个光点的阵列或在所述物体上，以便该对应的测量光束用于每个所述阵列的针孔的针孔是涉及一种不同的所述阵列的对应点的点和产生用于使点对应的返回测量光束，第一成像系统还设置到图像点的所述阵列到所述阵列的针孔，使得所述对应的返回测量点的光束从所述阵列的每个点被引导回至一对应的不同针孔在所述小孔的阵列，其中用于每个针孔的针孔阵列组合所述返回测量和参考光束用于使针孔以产生一对应的组合的光束; 和一个检测器组件包括一个针孔阵列检测器元件的对准与所述的阵列，使得所述对应组合的光束用于每个针孔该阵列被引导到不同的对应检测器元件的检测器元件。 |
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