| 扫描电子显微镜可变光学显微镜 |
| KR1020030006916 2003-2-4 发明申请 |
| 2004-8-11 |
| 目的 : 一种SEM(扫描电子显微镜)用于支撑可变放大率光学透镜被提供给分析的一个缺陷一晶片和更快速地找到一个测量点测量中的一个线的宽度由支承一光学透镜各种放大率而使用不同的多个光学透镜的放大率。结构 : 一晶片被放置在一个阶段(208)。在一真空室。一种电子放电单元(200)注入电子束(201)到所述晶片。一种可变放大率光学透镜单元，该电子束聚焦从所述的电子注入该晶片上的放电单元通过使用一个光学透镜(204)的一选择的倍率。kipo2004 |
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