| 真空扫描探针显微镜 |
| CN202310434932.6 2023-4-21 发明申请 |
| 2023-8-29 |
| 本申请涉及一种真空扫描探针显微镜，包括镜体，所述镜体包括：探针、样品台、镜体顶板、底座、多个圆柱凹台、多个水平驱动装置，其中，所述样品台用于放置样品；所述探针设置在所述镜体顶板靠近所述样品台的一侧；所述多个圆柱凹台放置在所述镜体顶板与所述底座之间，以将所述探针和所述样品台分隔开，光学成像系统发出的光束透过所述镜体顶板垂直聚焦于所述探针和所述样品台；所述多个水平驱动装置设置于所述底座上，所述多个水平驱动装置呈圆周阵列分布，用于驱动所述样品台移动。采用本申请能够准确地寻找到样品的特定区域，提高探测效率。 |
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