| 具碳奈米管之电子源及使用其之电子显微镜及电子线描画装置 |
| TW092119556 2003-7-17 发明申请 |
| 2004-8-1 |
| 本发明系提供一种高可靠度电子源，其系可确保碳奈米管与导电性基材之欧姆接触，并具有充分之接合强度，同时，容易进行电子束轴之调整者；藉由使用该高可靠度电子源，可提供：一种电子显微镜，相较於先前机种，其系较为高分解能化、高亮度化、低加速电压化，从而达成试料损伤之降低、低成本化、小型化者；及一种电子射线描绘装置，其系实现高精细化、高效率化、低成本化、小型化者。本发明之电子源，其系於导电性基材之先端中央部，经由导电性接合材料或有机材料而安装碳奈米管後，藉由热处理将该有机材料碳化处理，或藉由扩散接合而与碳奈米管欧姆接触者，适用於电子显微镜、电子射线描绘装置。 |
微信公众号