电子显微镜
 
TW092109357  2003-4-22  发明申请

2004-8-1
 
  本发明之课题在於提供一种电子显微镜,其系可以节省空间具有可搬性,起动时间短,对使用者之心理负担少者。本发明之解决方法为一种电子显微镜,其特徵为其构成要素至少包括:装於真空容器之电子源、真空泵、样品夹具及电子束检测器,及控制电子束轨道之电子透镜,及依电子束检测器所得信号显示图像之显示器及控制电源,并将上述各件形成一体,将真空容器、电子源、真空泵、电子束检测器、电子透镜及控制电源,设置在显示器背面侧,从显示器下方位置之部分进行存取样品。本发明之效果为可实现一种电子显微镜,其系解决上述课题普遍存在且对使用者之心理负担少者。
 
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