| 精度显微镜，E。G。用于工业测量应用中，具有一检测器侧校正透镜(6)用于校正在物镜的光学缺陷 |
| DE10301336 2003-1-15 发明申请 |
| 2004-7-29 |
| 显微镜精度光学测量装置包括一个物镜组件(1)与至少一个显微镜物镜(2)一起与一个检测单元(4)，用于记录所述的显微镜图像。在一个短的距离从所述检测器表面(4.1)是一种校正透镜(6)用于校正的图像误差第一上的图像场中出现的区域从所述物镜透镜中的光学缺陷。一个独立如权利要求被制成用于一个光学测量装置的制造方法的一种方法用于精确测量应用。 |
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