| 用于显微镜物镜 |
| JP2003067613 2003-3-13 发明申请 |
| 2004-7-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于构成一个显微镜物镜只有一个单透镜的不使用一偶极子，在所述的像差校正性能和优异的有效性到偏心容差，具有高放大倍数(≥大约40)。和这种数值孔径为大约0.9和一深紫外波长区中使用。溶液 : 该用于一个显微镜物镜OL是一个第一透镜组G1的构成提供一弯月透镜转向其凹表面朝向物体侧并具有正折射光焦度，组成一个第二透镜组G2的一个透镜具有正折射光焦度，构成一个第三透镜组G3通过设置至少两个或更多对当两个相邻透镜的透镜具有正和负折射光焦度和具有所述半径的所述相同的符号它们的相邻表面的曲率被设定的作为一对的透镜，和具有正折射光焦度作为一个整个，和第四具有负折射透镜组G4中的功率作为一个整体从所述物体侧顺序; 和所述一对透镜满足一个指定的条件。 |
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