| 扫描电子显微镜，和检验部件的观察方法使用它 |
| JP2003000598 2003-1-6 发明申请 |
| 2004-7-29 |
| 要解决的问题 : 以使能掌握三-维形成一种样品的广泛。溶液 : 由于高度(深度方向的距离)的一个画面的所有所述区域为计算从两个或两个通过使用多个片获得的图像中的一个焦点深度放大功能，其可视场角是不同的和所述整个图像被聚焦中，一地图(所述高度Z的地图)的信息是由用于每个像素，和一个三-维图像被显示作为鸟的眼视图。此外，因为从一个图像信号所获得的Z地图反射一种组合物获得的信息到所述Z地图从所述图像信号反射表面结构是通过重叠显示所述Z地图与其他颜色，一个空间所述样品中分布的一个特定的组合物的物质可以掌握明显。 |
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