具有改进的探针尖端安装的扫描探针显微镜
 
US10748827  2003-12-29  发明申请

2004-7-22
 
  扫描探针显微镜使用两个不同的扫描器(也称为“扫描台”),它们彼此完全分离,并由固定框架物理分离。 一个扫描器(称为“X-Y扫描器”)扫描一个平面(也称为“X-Y平面”)中的样品, 另一个扫描器(称为“Z扫描器”)在垂直于平面的方向(也称为“Z方向”)上扫描探针尖端(其被支撑在悬臂的自由端)。 两个扫描器彼此分离消除了串扰。
 
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