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用于基于显微镜的系统的自动聚焦模块
US10625464 2003-7-23 发明申请
2004-7-15
一种用于基于显微镜的系统(1)的自动聚焦模块(30)以这样的方式装备,即,提供产生测量光束(32)的光源(31)。 第一轴锥(34a)产生偏心延伸的环形发散测量光束束(32a)。 提供第二轴锥(34a),以便平行于发散测量光束束(32b)。 差动二极管(42)安装在模块(30)中,用于确定焦点位置。
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