| 快速聚焦扫描偏转装置、扫描电子显微镜 |
| CN202310893959.1 2023-7-20 发明申请 |
| 2023-8-25 |
| 本发明涉及一种快速聚焦扫描偏转装置、扫描电子显微镜，该快速聚焦扫描偏转装置包括：第一电磁透镜，用于对入射电子束进行聚焦；样品台，用于放置待测样品；第一电极，位于第一电磁透镜与样品台之间，第一电极包括与第一电磁透镜同轴的第一电极孔；控制组件，用于向第一电极提供电信号，以对入射电子束进行偏转，以及使第一电极和样品台之间形成的电场对第一电磁透镜和样品台之间形成的电场进行补偿形成匀强电场。基于上述方案，本发明可以对入射电子束进行快速补偿聚焦，此外还可以通过控制组件对第一电极提供电信号形成匀强电场，因此不会由于待测样品较轻而导致待测样品漂浮、移动，进而避免了影响对于待测样品的探测。 |
微信公众号