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快速扫描级用于一个扫描探针显微镜

WOUS03040026 2003-12-16 发明申请

2004-7-15

一种用于一种扫描探针显微镜是提供快速翻译级。所述级包括至少一个轴的翻译在所述的自然谐振频率驱动所述平移台使得与扫描方向中的快速变化相关联的是避免了失真。在一个实施例中，所述级包括一个样品板或支撑，其被驱动，最好通过一个或多个压电致动器元件，使得所述板沿所述的快速扫描频率转换在其谐振频率。