| 二次电子探测器，特别是一种扫描电子显微镜中 |
| WOCZ03000033 2003-6-13 发明申请 |
| 2004-7-15 |
| 本发明涉及一种二次电子探测器(1)，特别是一种扫描电子显微镜中。所述本发明的主题提供了一种二次电子探测器(1)构成由一传感器(2)位于在一个检测器腔室(3)，以其一种真空的空气泵(10)被连接到产生真空所述检测器室内部(3)，所述检测器腔室(3)是在其壁附近到所述传感器(2)封闭所述的有源表面与一隔膜，其特征在于高气体和低电阻的电阻，以该传输到所述传输的所述的电子。所产生的电导电栅格(11)是或者在所述形成一铜的屏幕或作为一种capton膜(12)与孔(13)，它被设置在两侧具有导电涂层(14，15)。外检测器腔室(3)，所述导电栅格(11)被覆盖有一输入屏(18)，其被通常半球形的形状和被连接到所述低电压源(19)的80至150V。 |
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