| 显微镜系统能够同时观察多个对准标记的 |
| KR2020040010185 2004-4-13 实用新型 |
| 2004-7-13 |
| 该装置的光源和一个附加装置或另外一种伪掩模不对准标记在所述晶片对准标记对准观察在实际时间，其可以被配置成进行本发明涉及一种观察显微镜。具有其光轴弯曲显微镜观察所述一种规定的间隔一致地中和方向彼此面对，其具有一透镜，用于放大倍率，所述顶部之间的部分和所述显微镜下，所述上，下获得的显微镜部分的放大由对准标记和反映所述垂直上，下数1反射的装置和，所述监视器是35被用于所述附加号码中复制的目的显微镜1反射装置是正交的反射图像感测所述位置的中空通道被形成所述导向部和所述的图像号1，所述下是由反射装置反射的光数量1号1的图像导向腔垂直的一个图像的再次被引入通过，和反射装置的数量2和反映所述，导向部分被图像的所述号码1是通过第二连接到所述的附近此外，所述号码2中的光由反射装置，反射的图像转印到所述图像通道被形成导向和图像号2，其被引入被反射的光学轴的反射图像在所述预定图像处理装置和通过棱镜和反射的装置，所述棱镜通过一种图像显示的所述反射装置通过一显示数据存储元件延伸到一预定图像的装置，以作为一个装置到由的处理。 |
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