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显微镜系统能够同时观察多个对准标记的

KR2020040010480 2004-4-16 实用新型

2004-7-13

该装置的所述目的，相对设置的所述图像采集单元的每个其它一对图像的放大的部分使用在另外一个对准标记的所述的光学轴和一个光源和一个附加对准装置或另外不要求透明的材料在所述掩模，以在不透明的例如晶片和所述等，和半导体的对准标记材料上的对准标记对准的观察中，其可以被配置成进行实时通过一绳。提供显微镜系统。