| 带电粒子探测系统、探测方法及扫描电子显微镜 |
| CN202310893955.3 2023-7-20 发明申请 |
| 2023-8-25 |
| 本发明涉及一种带电粒子探测系统、探测方法及扫描电子显微镜；该带电粒子探测系统包括：沿入射电子束方向依次设置的第一探测器组件、第二探测器组件及物镜；其中，第一探测器组件用于接收入射电子束作用于待测样品上产生的第一信号电子；第二探测器组件用于接收入射电子束作用于待测样品上产生的第二信号电子，第二探测器组件设置有第一通孔，第一信号电子穿过第一通孔；物镜为电磁透镜，用于汇聚入射电子束以及第一信号电子、第二信号电子。基于上述方案，本发明简化了带电粒子探测系统的结构，设备的加工难度较低，降低了带电粒子探测系统的加工成本，降低了带电粒子探测系统在使用过程中的调试难度。 |
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