| 单色仪和探电子显微镜以及使用这些。 |
| NL1025182 2004-1-7 发明申请 |
| 2004-7-9 |
| 本发明提供由单色仪扫描电子显微镜能够进行高分辨率，monochromatizing的色差不明显降低了能源，降低了初级电子束电流的强度。一种扫描电子显微镜安装有一对扇形磁，电场偏转方向相反聚焦电子束的能量通过狭缝宽度，然后限定，另一对形状相同的扇形磁，电场的安装位置处形成镜像对称的与含表面的狭缝。该结构的作用，抵消能量分散体在该目标点和对称镜的位置，通过在空间上和收缩的点与聚光透镜汇聚点波束系统，提高图像分辨率的扫描电子显微镜。 |
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