用于扫描探针显微镜的快速扫描台
 
US10725769  2003-12-2  发明申请

2004-7-8
 
  提供了一种用于扫描探针显微镜的快速平移台。 所述平台包括至少一个平移轴,所述平移轴在所述平移平台的自然谐振频率处被驱动,从而避免与扫描方向的快速变化相关联的失真。 在一个实施例中,所述平台包括样品板或支架,所述样品板或支架优选地由一个或多个压电致动器元件驱动,使得所述板在其谐振频率处沿所述快速扫描频率平移。
 
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