掩模对准器具有显微镜系统能够同时观察多个对准标记和调整的光学轴
 
KR2020040010681  2004-4-19  实用新型

2004-7-7
 
  该装置的所述目的,相对设置的所述图像采集单元的每个其它一对图像的放大的部分使用在另外一个对准标记的所述的光学轴和一个光源和一个附加对准装置或另外没有一个伪材料上的透明在所述掩模,以对准标记和半导体如晶片和所述等; 在对准观察不透明材料在真实时间对准标记,其可以被配置以进行所述区域一种显微镜系统的下电极104被提供所述定位器。
 
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