| 相干显微镜 |
| WOEP03014323 2003-12-16 发明申请 |
| 2004-7-1 |
| 本发明涉及一种相干显微镜，其包括一光源(1)发射时间-非相干光。所述共焦相干显微镜还包括一分频器(3)用于将上行通过所述光源所发出的光(1)成一个测量光，被供给到一个由所述相同的样品(13)和被反射，并进入一个参考光。一个叠加装置(25，31)在空间上叠加所述测量通过所述样品反射的光(13)与所述参考光。一个线性阵列(41)是用于检测所产生的光从所述叠加和适于允许用于一读出的速率至少约60kHz。为了获得所述顺序读出的速率，特别短的线性阵列(41)包括不多于约1000传感器元件，例如CCD元件，和特别是超短的线性阵列(41)包括不多于大约500传感器元件被使用。所述叠加装置是具有一个发射装置(25，31)用于发射所述测量光和所述参考光，其适于并设置相对于该传感器阵列(41)在这种方式，其至少一个所述传感器阵列的一部分(41)是与一个延长的周期上叠加光照射时间。该比由所述测量的光所覆盖的距离和所述的参考光从所述发射装置(25; 31)所述传感器阵列上入射到所述的各点(41)所述传感器阵列的变化在所述部分(41)。其是与叠加光照射。 |
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