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一种原子力显微镜探针座
CN202223401640.2 2022-12-19 实用新型
2023-8-25
本实用新型提供了一种原子力显微镜探针座,包括探针组件、探针卡座、压片、探针座基件,通过使探针臂以及探针臂所支撑的探针均位于镂空部内侧并大体上被探针座基件的结构所环绕,在取放探针座时无需触碰探针组件、探针组件直接接触的探针卡座、压片,探针臂、探针受到碰撞的几率大大减小,从而实现对探针组件的保护,保证测量精确度。
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