| 增湿与环境扫描电子显微镜的成像 |
| WOCA03001903 2003-12-9 发明申请 |
| 2004-6-24 |
| 一种方法和appararatus描述了用于成像的湿法与环境扫描电子显微镜的样品。特别是，一种载体气体被加湿，使得所述样品中所述载体气体中水蒸气腔室的所述esem具有一局部压力等于所述水的饱和蒸汽压力。因此，不用观察该样品可以被成像在其上的任何蒸发或冷凝。两个所述载体气体和所述水的蒸汽可作为所述成像esem内的气体。该装置被成像的气体输送系统用于所述esem其中所述载体气体可以被适当地加湿。 |
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