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一种原子力显微镜探针固定结构
CN202320289771.1 2023-2-23 实用新型
2023-8-25
本实用新型提供了一种原子力显微镜探针固定结构,包括探针组件、定位块、探针座、探针压片,探针压片能够在压合部与所述探针组件间设置有间隙的第一状态,和压合部将所述探针组件向所述探针座一侧压合的第二状态之间切换,结合第一面、第二面和定位槽的特定形状的作用,在探针臂的方向上减小配合间隙和探针震动引起的探针位置变动,减少测量误差;并通过第一状态、第二状态的切换,便于更换探针组件。
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