| 扫描显微镜包括一个共焦狭缝扫描装置用于再现一对象 |
| WODE03003163 2003-9-23 发明申请 |
| 2004-6-17 |
| 本发明涉及一种用于再现一个对象扫描显微镜(1)，所述显微镜包括一个光源(2)，一个光谱选择元件(8)，其可以被调整在一个几乎无限可变的方式，一光谱选择检测装置(4)。其可以被调整在一个几乎无限可变的方式，照明光束路径(3)从所述光源延伸(2)到所述物体(1)，和一个检测光束路径(5)从所述物体(1)延伸到所述检测装置(4)。根据本发明，所述频谱选择性元件(8)是用于选择光从所述光源(2)。用于照明所述对象; 该光谱选择性元件(8)是用于选择所述光源的光掩模进行所述的(2)，其所述对象上被反射和\/或散射的(1)，从所述检测光束路径; 和至少一个所述的光的波长范围内延伸的沿所述检测光束路径(5)可以检测到通过该频谱的选择性检测装置(4)。本发明的特征在于，用于所述检测的对象(1)在一高扫描速度与一改进的信号-噪声比，在使所述的照明光束路径(3)和所述检测光束路径(5)被包含在所述形成一个共焦狭缝的扫描器。 |
微信公众号