| 扫描探针显微镜和用于操作所述相同的方法 |
| JP2003117395 2003-4-22 发明申请 |
| 2004-6-10 |
| 要解决的问题 : 以提供SPM(扫描探针显微术)，其可提高稳定性在一种操作用于测量各种种中的物理量和其带来的改进的测量灵敏度以及改进在再现性，和定量的一种测量值，通过提供一种系统，其可以最佳地控制所述悬臂的Q-值附近的所述谐振，即使在在所述动态地变化的环境条件驱动的SPM。溶液 : 该动态地提取速度驱动的SPM是提供具有一装置从所述悬臂的振动检测信号，用于进一步调整所述信号的所述增益可变放大器，以及一个加法器，用于叠加所述可变放大器的输出信号在所述一振荡器的输出信号，在一个正常动态驱动系统，用于强制地振动该悬臂由一压电装置或所述等。通过调整所述的所述可变增益放大器，所述悬臂的所述附近的所述共振Q值被控制; 和所述设定所述Q在一个最佳值的功能与相对于该环境变化被提供。 |
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