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电子显微镜系统

US10631748 2003-8-1 发明申请

2004-6-10

本发明公开了一种结合能量选择器27和分束器21的功能的粒子光学装置。所述粒子-光学装置用于电子显微镜系统中，并且用于分别分离和叠加初级电子束11和次级电子束13的束路径。