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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

具有同轴扫描电子显微镜的聚焦离子束系统

US10635228 2003-8-6 发明申请

2004-6-10

一种包括同轴聚焦离子束和电子束的系统，允许使用由电子束形成的图像对FIB进行精确处理。在一个实施例中，偏转器将电子束偏转到离子束的轴上，并将通过最终透镜收集的二次粒子偏转到检测器。在一个实施例中，正偏置的最终静电透镜使用相同的电压聚焦两束光束，以允许同时或交替的FIB和SEM操作。在一个实施例中，可以改变电子的着陆能量而不改变工作距离。