透射电子显微镜和三维观测方法
 
EP03257301  2003-11-19  发明申请

2004-6-9
 
  发出的电子束的电子束源,和偏转的在不同方向偏转板形成第一电子束E1和第二电子横梁E2。第一电子束E1入射到样品的给定部分在角度θ1a,和第二电子束E2入射到样品的相同部分以一角度θ2a的。第第一图像和第第二图像的部分的样品经过第一电子梁E1,第二电子束E2结合在三维显示装置显示所述样品的所述部分三维。
 
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