| 基板的在线检查方法、扫描电子显微镜和计算机可读介质 |
| WOCN22076535 2022-2-16 发明申请 |
| 2023-8-24 |
| 描述了一种在线检查衬底的方法。 该方法包括在衬底的第一表面部分上扫描主电子束(105)，该衬底是具有晶粒结构、特别是LTPS结构的大面积衬底； 在所述主电子束(105)在所述第一表面部分上扫描期间，利用分段式次级电子检测器(130)的第一检测器段(231)和第二检测器段(232)检测次级电子信号，其中所述第一检测器段(231)提供第一强度数据(Ie(x，y))，并且所述第二检测器段(232)提供第二强度数据(Iw(x，y))； 基于所述第一强度数据(Ie(x，y))和所述第二强度数据(Iw(x，y))之间的差来计算所述基板(10)在x方向上的表面陡度； 以及基于在x方向上的表面陡度确定第一表面部分的形貌(T)。 进一步提供了一种扫描电子显微镜，其被配置为执行这样的方法。 |
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