| 扫描探针显微镜及操作方法 |
| US10663302 2003-9-16 发明申请 |
| 2004-5-20 |
| 本发明的目的在于提供一种SPM，其能够提高测定各种物理量时的动作稳定性，提高测定灵敏度， 本发明提供一种系统，该系统能够在动态驱动SPM的环境条件变化的情况下，最佳地控制悬臂的共振附近的Q值，从而实现测量值和定量的再现性。 为了达到这个目的， 本发明的动态驱动SPM包括用于从悬臂的振动检测信号中提取速度的提取装置， 可变放大器，用于调节信号的增益； 以及加法器，用于将可变放大器的输出信号与通常在动态驱动方法中出现的振荡器的输出信号叠加，该方法用于迫使悬臂由压电装置等振荡，并且加法器设置有用于控制在悬臂附近的Q的功能，该加法器用于将可变放大器的输出信号与通常出现在动态驱动方法中的振荡器的输出信号叠加。 通过调节可变放大器的增益以将Q设置为最优值，实现悬臂的谐振。 |
微信公众号