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产业专利数据

扫描电子显微镜

US10704821 2003-11-12 发明申请

2004-5-20

为了提供一种从微调到复查全自动进行调查工作的全自动扫描电子显微镜，本发明的扫描电子显微镜具有计算坐标校正后的校正精度并用矢量39显示的功能，在坐标校正之后，根据所获得的信息自动确定用于自动检测物体的搜索放大率的功能，以及根据搜索放大率和测量条件计算物体或缺陷的出现频率和测量所需的时间的功能。