| 卧式原子力显微镜探头 |
| CN03230262.2 2003-4-9 实用新型 |
| 2004-5-19 |
| 本实用新型公开了一种卧式原子力显微镜探头。 它具有XYZ压电陶瓷及样品台组成的扫描与反馈控制器和由 微悬臂探针、激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系 统。本实用新型的优点是结构简捷，技术条件易于实现。由于 采用了卧式结构，使原子力方向与微悬臂的重力方向相互垂 直，从而有效地避免了重力对原子力的影响，提高了原子力的 作用效率和精度。因此，本实用新型除了原理新颖，结构简洁， 易于操作等特点外，更主要的是克服了立式原子力显微镜探头 的局限性。因此可获得更好的纳米检测与成像性能。广泛适用 于导体、半导体和绝缘体样品，可望在众多科技与工业领域得 到广泛应用。 |
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