| 双元原子力显微镜检测头 |
| CN03230939.2 2003-4-29 实用新型 |
| 2004-5-19 |
| 本实用新型公开了一种双元原子力显微镜检测 头。它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微 悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和 测量单元以及由XY压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品 组成的扫描控制系统。本实用新型的双元原子力显微镜检测头 可以很好的消除压电陶瓷的非线性和滞后效应带来的扫描误 差且不受样品导电性能的影响，最大测量范围达到5μm。使 用不同的参考样品，双元原子力显微镜能够实现对任何电导率 样品的纳米和亚微米精度的长度计量，可望在众多科技与工业 领域得到广泛应用。 |
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