| 测定方法和电子显微镜 |
| JP2022019722 2022-2-10 发明申请 |
| 2023-8-23 |
| 要解决的问题：提供一种测量方法，其能够改变电子束照射角度而不倾斜样品或偏转电子束。 解决方案：一种测量方法是用于电子显微镜的测量方法，所述电子显微镜包括发射电子束的电子源和照射系统，所述照射系统包括限制电子束通过并会聚电子束以照射样品的照射系统孔。 该测量方法包括以下步骤：通过将照射系统孔径的位置布置在第一位置，将入射到样品上的电子束的照射角度设置为第一照射角度，并且通过将照射系统孔径的位置布置在不同于第一位置的第二位置，将入射到样品上的电子束的照射角度设置为不同于第一照射角度的第二照射角度。 选图：图4版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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