| 扫描探针显微镜和使用该扫描探针显微镜的样品观察方法以及半导体器件制造方法 |
| US10340517 2003-1-9 发明申请 |
| 2004-5-13 |
| 为了提供一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜能够在不损坏样品的情况下同时测量与样品的局部特征有关的高通量分布信息，通过提供光学类型的高灵敏度接近传感器来控制样品和探针的接近，从而提高接近每个测量位置的速度。 另外，通过使探针间歇地与样品接触，在确保探针不在样品上被拖动的同时，通过以下方式不降低扫描速度地获得与样品上的材料质量分布有关的附加信息 : 向探针施加电压，或者测量对振动探针的响应，或者在获得样品高度数据的同时并且在与样品接触周期同时检测样品表面的局部光学强度。 |
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