| 扫描电子显微镜 |
| US10699793 2003-11-4 发明申请 |
| 2004-5-13 |
| 本发明涉及一种采用减速场形成技术(延迟)的扫描电子显微镜，更具体地说，涉及一种高效地分离和检测二次电子的扫描电子显微镜。 本发明的目的是通过提供电子源，用于会聚从所述电子源发射的初级电子束的透镜，用于检测由初级电子束辐射到样品上产生的电子的检测器，用于使辐射到所述样品上的初级电子束减速的第一减速装置，用于使在所述样品上产生的电子减速的第二减速装置，以及用于使由所述第二减速装置减速的所述电子偏转的偏转器来实现的。 |
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