| 显微镜系统 |
| US10393358 2003-3-21 发明申请 |
| 2004-5-13 |
| 本发明提出了一种用于对物体成像的显微系统，包括 : 显微光学系统，其包括具有物平面(13)的物镜系统(3)，所述物平面与所述物镜系统的工作距离(a)是可调节的；以及第一投影系统，其用于将至少一个成形的分析光束(33，34)投影到所述物体上并用于在所述物体上产生至少一个光点(39)。 分析光束(33，34)被成形为使得分析光束(33，34)的横截面形状在光束方向上改变。 显微系统还可以包括 : 位置敏感辐射检测器(51)；成像光学器件，用于在位置敏感辐射检测器(51)上成像在物体上产生的至少一个光点(39)；以及电路(61)，用于评估检测到的光点并基于光点(39)的形状提供聚焦信号。 |
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