| LIBS显微镜的使用超短激光脉冲 |
| WODE03003531 2003-10-23 发明申请 |
| 2004-5-13 |
| 本发明涉及一种用于所述光学材料的方法分析的材料样品(22),根据其等离子体发光; 其结果从所述的交互所述的样品材料与所述照射所述材料样品(22)利用超短,密集激光脉冲(14),被分析。飞秒激光器(10)是合适的激光器,用于所述的方法。所述激光脉冲(14),其可以任选地形的装置的一脉冲整形器(12)到所述最佳形成用于所述对应的分析,被引导通过一显微镜装置包括一透镜具有一高数值孔径(20)。和然后聚焦在所述表面上的一个交互区域或在所述材料样品(22)的内部,由此所述区域能够被精确地调整。所产生的等离子体发光的所述交互区域中产生等离子体,它是由所述激光脉冲(14)。收集使用所述相同的所述的显微镜装置与一高数值孔径的透镜(20)和检查是用于分析目的与所述助一分光组件(30),其被连接的下游。 |