| 等离子体显微镜的使用超短激光脉冲 |
| WODE03003536 2003-10-23 发明申请 |
| 2004-5-13 |
| 本发明涉及一种光学显微术方法，用于识别所述的表面结构材料样品(22)。超短激光脉冲(14)在所述飞秒范围内被引导通过一显微镜装置包括一个透镜(20)与一个预定的数值孔径和一各自的激光脉冲(14)是可调节地聚焦在一精确的方式在一个空间点，其是以所述的位置关系中定义的所述材料样品(22)。所得到的所述激光脉冲的辐射从所述焦点区域(14)是收集使用所述相同的透镜(20)。所述的显微镜装置和引导到一检测器(30)，诸如例如一个光电倍增管。本发明的特征在于，它使用一个激光脉冲(14)中与一焦点强度，其值位于稍高于该阈值用于产生一等离子体在所述材料的所述材料样品(22)。一个等离子体与等离子体发光仅当所述焦点或焦点中心发生撞击样品(22)。所存在的一个这种类型的等离子体发光强度的曲线是通过读取所确定的所述测量所述检测器的信号。所述曲线将示出了一种如果等离子体发光发生显著的上升。所述三个样品的三维结构(22)因此可以识别与至少四倍的分辨率所述衍射限制的，没有限制到一定的频谱线或所添加的染料。 |
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