| 设备和方法用于一种扫描电子显微镜图像中的样本的优化 |
| EP03022276 2003-10-1 发明申请 |
| 2004-5-6 |
| 一个用于识别一最佳系统和方法着陆一种探针的能量电流(16)中的一种扫描电子显微镜系统(10)。一探针电流(16)具有一公知的着陆能被引导在一个样品(24)用于产生一个信号电子束(26)。所述所述信号的电子束电流(26)是通过将光束引导到一个电流测量检测器(32)。用于计算一电流产率，其是比所述信号电流到所述探针的电流。所述的着陆然后能量可以被用于后续的测量结果改变所述信号电流，以识别所述的着陆能量其产生一个期望的电流产率。一旦识别，所述的着陆能量值可以被用来产生一信号电子束(26)指向一个成像探测器(28)，以产生地形图像的样本。 |
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