扫描电子显微镜用透镜
 
US10275203  2003-1-8  发明申请

2004-5-6
 
  一种用于扫描电子显微镜的透镜(15)适于可拆卸地安装在样品台(1)上。 所述透镜(15)包括具有第一磁极片(7)和第二磁极片(4)的磁路(2,3,4,7),以及样品保持器(5)。 所述样品保持器(5)位于所述第一和第二磁极片(4,7)之间。 所述磁路(2,3,4,7)还包括透镜孔(18),以允许电子束(9)在使用中撞击安装在样品架(5)上的样品的表面。 所述透镜孔(18)具有大于1mm的宽度。
 
仿站