产业集群信息网

产业专利数据

光束引导装置，成像方法，电子显微镜系统和电子光刻系统

US10638328 2003-8-12 发明申请

2004-5-6

一种电子显微镜系统，包括物镜(19)，该物镜将可在X方向上移动的场成像在固定束轴(17)上。所述物镜具有由固定轴上的光束整形器(63)补偿的像散效应。另外，透镜结构可选择性地作用于初级电子束或次级电子束。