| 用于浸没式显微镜物镜的顶端光学元件 |
| US10688382 2003-10-17 发明申请 |
| 2004-5-6 |
| 一种用于浸没式显微镜物镜的顶端光学元件被构造成使得第一光学元件和第二光学元件彼此粘结, 并且在第一光学元件和第二光学元件中的一个的表面上具有环形光阻挡区域。 尖端光学元件是这样制造的 : 光束限制装置放置在第一光学元件和第二光学元件之一的表面上; 向光束限制装置提供透射有效光束的光透射区域和围绕光透射区域形成的光阻挡区域; 并且第一光学元件和第二光学元件彼此粘接,光束限制装置夹在它们之间。 |