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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

通过使用扫描电子显微镜底切的方法用于测量

JP2003270078 2003-7-1 发明申请

2004-4-30

要解决的问题 : 以防止一种扫描电子显微镜的分辨率劣化。溶液 : 一种方法用于测量一个底切包括一步骤，用于主电子束辐射到一个结构在一个一定的入射角度，一个步骤，用于改变所述主电子束的入射角度在一一组角度，一个步骤，用于测量强度的电子散射从所述的结构在每个一组中的入射角度所述强度的角度和一步骤，用于发现不连续性作为所述入射角度的函数。