| 扫描探针显微镜 |
| JP2003326599 2003-9-18 发明申请 |
| 2004-4-30 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，其中所述精细的运动范围的所述扫描机构适当地设定靠在所述拓扑的样品。溶液 : 所述扫描探针显微镜100包括一悬臂110具有一探头112在它们的自由端，一传感器120，它支持所述的悬臂110和检测所述位移所述探头112，一种XYZ控制机构140它支持和移动该样品130，接近机构150，使该探针112和样品130靠近在一起，一控制器160控制XYZ控制机构140和所述接近机构150，和一个显示装置170，它显示一个由所述控制器160获得的图像。该控制器160，接近操作期间，继续以计算一个代表所述最新的高度信息的值在一该测量中的多个测量点的范围，和停止所述接近机构150所述代表值时成为所述Z的所述XYZ精细的运动范围设定控制机构140。 |
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