| 用于电子显微镜物镜系统，和电子显微镜系统 |
| JP2003277006 2003-7-18 发明申请 |
| 2004-4-30 |
| 要解决的问题 : 提供一种物镜，用于电子显微镜系统需要一个相对小的空间，以及用于最小化一外部磁场所述物镜，和以提供一种改进的检查系统，用于同时执行一个检查对象的图像形成和操作。溶液 : 该物镜包括一磁极片装置具有一个磁极片之间的间隙119形成一个在磁极件111和一个外磁极件112，和用于产生一聚焦磁场; 和一个电极装置具有一束管113相对于光学轴基本上旋转对称的101; 和具有一个下端沿所述的光学轴101延伸在所述极片111，和一个终端电极114分别从所述束管的下端形成; 和利用磁聚焦和静电聚焦用于形成所述一个对象的图像能够被设置在一种物质的表面。 |
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