| 电子显微镜系统和电子显微镜方法。 |
| JP2003289955 2003-8-8 发明申请 |
| 2004-4-30 |
| 要解决的问题 : 提供一电子显微镜上和其操作方法可提供附加信息的一个检查的对象。溶液 : 本发明的电子显微镜是一种扫描型的，并被配备有 : 一主电子光学装置17提供与一个电子源24用于产生一个主电子束11，和一个物镜，用于基本上聚焦所述主电子束一焦点在一个对象表面上以形成一主电子束光点35; 和一个二次电子的光学装置19包括一电子检测器15用于检测电子的强度，和一个对象透镜29，和用于发送产生的二次电子进行一功能从所述焦点周围的区域，以所述检测器作为二次电子束。 |
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