| 转换扫描电子显微镜 |
| US10610345 2003-6-30 发明申请 |
| 2004-4-29 |
| 一种用于将扫描电子显微镜(SEM)转换成扫描透射电子显微镜(STEM)的装置适于安装在常规的SEM上。 所述装置具有可安装在所述SEM上的壳体，并为待由离开所述SEM物镜的初级电子束扫描的样品提供支撑。 所述外壳限定了允许已经通过所述样品的透射电子被检测的路径。 所述装置可具有可安装在所述壳体上的磁铁，用于产生横向磁场以偏转所述壳体中的传输电子。 磁性透镜可安装在外壳内，用于将初级电子束聚焦到样品上。 SEM的二次电子检测器可用于检测由透射电子激发的目标发射的二次电子。 可选地，电子检测器可以安装在外壳内，用于检测发射的电子。 |
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