| 一种纳米扫描电子显微镜用针尖 |
| US10615452 2003-7-8 发明申请 |
| 2004-4-29 |
| 一种用于产生电子束的设备，包括 : 支撑结构； 微型超高真空室，包括超导单壁金属型碳纳米管，所述超导单壁金属型碳纳米管包括圆柱形壁，设置在所述支撑结构上并密封到所述支撑结构上的近端，以及包括电子透明结构的远端； 电子束发射尖端，其包括 : 第二碳纳米管，其嵌入到支撑结构中并设置在超导单壁金属型碳纳米管中，所述第二碳纳米管具有内表面，所述内表面上设置有薄的导电涂层； 以及用于在所述超导碳纳米管的电子束发射尖端和圆柱形壁之间产生电势差的装置。 本发明还提供了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括设置在具有近端和远端的锥形外壳内的封闭点源电子束发生器， 所述近端通过其中的开口与真空管连通，并且所述远端包括锥形移液器尖端靶开口。 |
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